1. Aus dem Datenblatt:
Anhang anzeigen 35354
Die Tiefe ergibt sich aus dem Material und der Intensität, die ich einstelle. Bei Paste sind das zwischen 5 und 20 µm
2. und 3. Messungen
Ich messe i.d.R. 3 bis 5 mal mit einer Matrix aus insgesamt 25 Einzelpunkten, die sich natürlich auch leicht überlappen. Das wird dann vom Gerät gemittelt. Die Messung, die statistisch in der Mitte liegt (und keine Ausreißer aufweist), nehme ich dann. Diese ganzen Messungen lassen sich sogar untereinander in der Software erst einmal gut vergleichen, was echt praktisch ist.
Neben den Matrixmessungen in die Breite kann ich auch reine Tiefenmessungen machen, also bis zu 15 Mal auf den selben Punkt und das dann entweder als Schichtprofil nutzen (z.B, um Coating öder Oxidschichten bis zum reinen Metall zu analysieren) oder aber auch als Mittelwert abbilden. Ich kann sogar etwas tricksen und das Silikon erst einmal mit einem schwachen Laser großflächig als Matrix "verdampfen" lassen und dann die verbiebene "Trockenmasse" mit voller Power analysieren. Nettes Spielzeug. Ansonsten nutze ich gern auch mal Xylol, um die Partikel rauszuwaschen. Das muss man ja beim REM machen, wenn man nicht gerade eine Tiefsttemperaturtisch hat. Sonst explodiert die Paste im Vakuum
4. Abgleich und Kalibrieren
Ich habe hier eine größere Materialsammlung, von reinen Metallen, diversen Bronzen und Messinglegierungen bis hin zu diversen Alu-Proben. Dazu habe ich mir aus der Herstellung auch reine Füllpartikel in verschiedenen Mahlgraden besorgt, also diverse Al2O3 und ZnO Proben. Dazu Nanontubes, Graphit und auch Graphen und sogar Graphan. Damit kann man sich ganz gut selbst überprüfen, vor allem die Legierungen.